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            海得控制產(chǎn)品及系統(tǒng)解決方案在各大行業(yè)的實(shí)際應(yīng)用案例展示。

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            真空鍍膜機(jī)

            發(fā)布時(shí)間:2017-08-04

            系統(tǒng)概述

            真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類(lèi),包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

            常用于對(duì)半導(dǎo)體、光伏、電子、精密光學(xué)等行業(yè)的納米級(jí)表面處理。

            系統(tǒng)原理

            通過(guò)電子槍發(fā)射高壓電子轟擊坩堝中的待鍍靶材,使其在高真空下蒸發(fā)并沉積在被鍍基片上以獲得鍍膜。

            系統(tǒng)配置

            • 自動(dòng)化控制器: e-Control PLC,是控制系統(tǒng)的核心硬件平臺(tái)。
            • 人機(jī)界面硬件: TPC1503工業(yè)級(jí)15寸觸摸式平板電腦,穩(wěn)定可靠。
            • 人機(jī)界面軟件: NETSCADA組態(tài)軟件開(kāi)發(fā)平臺(tái),提供真空鍍膜機(jī)的控制和監(jiān)視。

            系統(tǒng)評(píng)價(jià):

            • 提供多達(dá)99層一次成膜支援;
            • 自動(dòng)倒幕翻轉(zhuǎn),可實(shí)現(xiàn)雙面鍍膜
            • 支持Excle導(dǎo)入靶材、設(shè)備參數(shù)、工藝參數(shù)等
            • 支持電子槍像素點(diǎn)數(shù)量自定義控制,實(shí)現(xiàn)靶材的無(wú)縫隙加熱控制;
            • 針對(duì)不同加熱段,采用不同蒸鍍模式,保證熔料均溫的同時(shí),保證熔料效率;
            • 一鍵式啟動(dòng),從啟動(dòng)到生產(chǎn)結(jié)束只需輕點(diǎn)一下鼠標(biāo),各種生產(chǎn)流程自動(dòng)完成;
            • 批號(hào)式數(shù)據(jù)管理方案,實(shí)時(shí)自動(dòng)保存生產(chǎn)信息,對(duì)生產(chǎn)數(shù)據(jù)有據(jù)可查;

            網(wǎng)絡(luò)化方案,提供遠(yuǎn)程組網(wǎng)端口,輕松實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程多系統(tǒng)集中控制

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